Rotoru sistēma
Sausā vakuumsūkņa barošanas kodols ir precīzi uzstādīts rotora bloks, kas parasti sastāv no diviem līdz trim spirālveida vai spīļveida{0}}rotoriem. Šie augstas-precizitātes metāla rotori savienojas viens ar otru ar mikronu-līmeņa atstarpēm, izmantojot pret-rotāciju, lai virzītu gāzi no ieplūdes atveres uz izplūdes atveri. Rotoru unikālais profila dizains,{6}}piemēram, evolūcijas vai apļveida loka profili{7}}nosaka sūknēšanas efektivitāti; rotācijas ātrums var sasniegt 3000–6000 apgr./min, un viena-pakāpes saspiešanas pakāpe var pārsniegt 10:1.
Blīvējuma struktūra
Atšķirībā no eļļas{0}}sūkņiem, sausie sūkņi saglabā vakuuma integritāti, izmantojot trīsslāņu{1}}blīvēšanas mehānismu:
Labirinta blīves: daudzpakāpju, līkumotie kanāli, kas atrodas rotora galos, izmanto gaisa plūsmas pretestību, lai bloķētu noplūdi.
Gāzes barjera: Inertā gāze tiek ievadīta kritiskās vietās, lai izveidotu pneimatisko spiediena barjeru.
Specializēti pārklājumi: Rotoru virsmas ir pārklātas ar tādiem materiāliem kā PEEK (poliētera ētera ketons), kas nodrošina gan nodilumizturību, gan samazinātu berzes koeficientu.
Šīs konstrukcijas īpašības uztur noplūdes ātrumu zem 0,5 Pa·m³/s, tādējādi izpildot stingras tīrības prasības tādās nozarēs kā pusvadītāju ražošana.
Dzesēšanas modulis: "Temperatūras sargs" nepārtrauktai darbībai
Tā kā nav eļļošanas{0}}uz eļļas bāzes, sausajiem sūkņiem ir nepieciešama inteliģenta siltuma pārvaldības sistēma.
Gaisa dzesēšana: alumīnija sakausējuma siltuma izkliedes spuras, kas savienotas pārī ar centrbēdzes ventilatoru, izkliedē līdz 60% no radītā siltuma.
Ūdens dzesēšana: iekšējā vara{0}}caurules ūdens cirkulācijas cilpa nodrošina siltuma apmaiņas efektivitāti, kas ir trīs reizes lielāka nekā gaisa dzesēšanai.
Fāze-Dzesēšanas maiņa: dažos modeļos tiek izmantota siltuma cauruļu tehnoloģija, kas nodrošina līdz pat 100 reizēm lielāku siltumvadītspējas koeficientu nekā tīram vara.
